臭氧煙氣脫硫脫硝高純度制氧設備是在一般大型制氧機基礎上，氧氣源依據(jù)臭氧行業(yè)的特點，研發(fā)出來的臭氧專用的制氧設備。這樣臭氧脫銷制氧機氧氣壓力平穩(wěn)，極大的減少了氧壓機的維護。常溫常壓，合適連續(xù)運轉。全部設備耐腐蝕，耐濕，可接連24小時安穩(wěn)運轉。

臭氧脫銷制氧機同時脫硫脫硝過程中NO 的氧化機理進行了研究，構建出O3與NOX 之間65步詳細的化學反應機理，該機理比較復雜。在實際試驗中，可根據(jù)低溫條件下臭氧脫銷vpsa制氧與NO 的關鍵反應進行研究。

研制編程了制氧機PLC控制，采取了臭氧制氧現(xiàn)場匹配。根據(jù)不同臭氧配置，現(xiàn)場匹配PLC制氧變壓吸附制氧控制。實現(xiàn)臭氧功耗，制氧功耗，臭氧濃度，制氧濃度，干燥氣量之間的綜合匹配。避免傳統(tǒng)制氧臭氧配套中經(jīng)常發(fā)生的制氧功率消耗過大問題。臭氧高頻高壓放電發(fā)生很多熱能。而臭氧氣體在42℃將會迅速分化。傳統(tǒng)空氣冷卻，或者單水冷卻都會致使高頻高壓發(fā)生的熱量不能散熱充沛，致使臭氧產(chǎn)值降低。