富氧曝氣工藝與空氣曝氣活性污泥法機理上基本是相同的，都是通過好氧微生物對污水中的有機物進行生化反應使污水得以凈化。所不同的是前者是向污水中充富氧，后者是向污水中充空氣。氧氣曝氣法的一大特點就是處理效率明顯高于空氣法。將同一污水處理到同一水平，氧氣法所需曝氣時間一般僅為空氣法的1 /3 左右。這是因為富氧的濃度是空氣中氧濃度(21%) 的4.7 倍，因此氧氣法系統(tǒng)中氧的分壓，亦即溶氧的推動力，也比空氣法高4.7倍，在水中溶解氧的飽和值CS 也增加了4.7 倍，充氧速率也增加了4.7 倍，顯著提高了氧的轉移速率，從而使好氧微生物的濃度和活性都提高，明顯改善了傳統(tǒng)活性污泥法的不足。